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本学院学术人员

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王跃林

发布日期:2023-03-17    点击次数:

王跃林,男,1959年4月生,博士,教授,连续三届国家MEMS“973”项目首席科学家,入选中科院“百人计划”、国家级新世纪百千万人才工程,享受国务院政府特殊津贴。

教育经历:1978.10-1982.7,浙江大学半导体器件专业,获学士学位;1982.9-1985.7 ,哈尔滨工业大学半导体物理与器件专业,获硕士学位,1986.3-1989.10 清华大学半导体物理与器件专业(在职脱产攻读),获博士学位。

教学工作:累计培养博士生60余人,硕士生60余人。在绍兴大学指导学生在 IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM) 2026上发表学术论文并做口头报告,现已被国内集成电路头部企业士兰微录用为实习生。

科研工作:长期从事MEMS和平面电子管及电子管集成电路的研究。提出了仅需单面加工的MEMS规模制造关键技术,实现了我国MEMS规模制造零的突破和传感器大规模应用。创建微系统技术国防科技重点实验室,建立微系统技术加工平台,发明了基于栅调控阴极电子浓度的平面电子管新方法,解决了该领域长期存在的栅漏电问题,在国际上率先将平面电子管应用到单元电路中。

主要荣誉:获国家技术发明二等奖1项,上海市技术发明一等奖2项、二等奖2项,浙江省技术发明一等奖1项和教育部自然科学二等奖1项。发表论文300余篇,其中SCI收录200余篇,获授权发明专利150余项。担任Sensors& Materials编委、电子学报编委、中国微米纳米技术学会副理事长等学术职务。

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