绍兴文理学院集微电子、物理、材料、化学、机械等多学科优势，联合绍兴中芯集成电路制造股份有限公司（以下简称：中芯集成）共同建设MEMS研究团队，在MEMS规模制造关键技术、新型MEMS敏感材料及传感器和MEMS传感器应用等方面展开深入研究。2021年11月微机电系统浙江省工程研究中心通过浙江省发展和改革委员会认定。
微机电系统浙江省工程研究中心由绍兴文理学院和绍兴中芯集成电路制造股份有限公司共同建设，数理信息学院方泽波教授担任研究中心主任。研究中心拥有科研用房6500平方米，包括约130平方米配有材料制造工艺仿真软件的EDA机房，260平方米的材料光电性能测试平台，500平方米的超净间实验室等。研究中心现有先进仪器设备原值超过6000万元，包括分子束外延、紫外光刻机、电子束蒸发、场发射扫描电镜、高分辨拉曼光谱仪等材料和器件性能测试设备。
研究中心拥有固定科研人员87名，其中教授25人，副教授17人，博士48人。拥有国家级人才3人，国家“973”项目首席科学家1人，浙江省级专家3人。此外还有浙江省新世纪151人才5名，浙江省中青年学科带头人5名，浙江省高校领军人才培养计划人才2名。中心主任方泽波教授领衔的团队成功入选浙江省第二批高校高水平创新团队。
研究中心成员主持科研项目130余项，其中国家级科研项目31项，横向项目累计经费约900万元，绍兴市330海外英才项目3项；发表SCI论文90余篇，其中Top期刊论文了9篇，另有4篇论文入选ESI高被引论文，1篇论文入选ESI热点论文；授权国家发明专利64项、国际专利3项；出版专著6部，其中1部为外文专著；获浙江省科学技术进步奖二等奖1项，全国性行业协会三等奖2项，绍兴市科学技术奖一等奖1项。
研究中心主任方泽波教授，是浙江省第二批高校高水平创新团队带头人，浙江省151人才工程第二层次、浙江省高校中青年学科带头人培养对象、浙江省优秀青年教师。主持国家级和省部级项目各4项；已在发表SCI收录论文80多篇，其中有2篇第一作者论文单篇SCI他引次数分别达到302次和185次；在微电子材料方面的研究成果先后获得了Nature子刊2次专题报道。已获发明专利授权20多件。曾获得浙江省高校教学成果奖二等奖、绍兴市科学技术奖一等奖、甘肃省高校科技进步奖二等奖、复旦大学优秀博士后等奖励。
