近日,由我校与绍兴中芯集成电路制造股份有限公司(中芯集成)联合申报的“微机电系统浙江省工程研究中心”正式通过浙江省发展和改革委员会的认定,成为我校第二个通过认定的省级工程研究中心。
微机电系统 (Microelectromechanical systems, 简称MEMS) 浙江省工程研究中心的建立旨在响应国家关于半导体制造产业的战略全局规划,深入落实国家出台关于集成电路产业《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》《中国制造2025战略》《国家集成电路产业发展推进纲要》等重要文件精神。工程研究中心由我校方泽波教授担任主任、中芯集成赵奇总经理担任共建方主任,聘请973项目首席科学家王跃林教授为中心首席科学家,打造MEMS规模制造技术研究实验平台、新型MEMS传感器设计研发平台及MEMS传感器应用研究实验平台,突破MEMS产品量产难、研发难和应用难三大制约MEMS成果转化和产业化的主要障碍,推MEMS大规模应用,从而提升我国MEMS的市场竞争力。双方将进一步在技术资源共享、科研人才互通、人员培训、人才培养等方面开展全方位、多角度的立体式合作,推动“产—学—研”合作深度融合发展,提升集成电路产业持续创新能力,解决制约我国集成电路产业的关键技术瓶颈,打造集成电路产业生态链,为尽快实现国内集成电路产业的自主健康发展贡献力量。
据悉,绍兴中芯集成电路制造股份有限公司已列入第四批国家批准的集成电路重大项目企业、浙江省和绍兴市两级重点项目和省重大产业项目,是省、市发展数字经济的先导项目之一,也是打造“万亩千亿”集成电路产业平台的龙头企业之一。校企双方先后合作成立了“集成电路产业学院”“绍兴市微机电系统重点实验室”等平台,目前双方已形成涵盖科研合作、成果转化、实践培训、人才培养与就业等全方位战略合作伙伴关系。