我院与中芯(绍兴)先后共同申报了浙江省微机电系统重点实验室、浙江省“微机电系统工程研究中心”等学科平台,目前获批浙江省“微机电系统工程研究中心”和绍兴市微机电系统重点实验室;创建全国首个行业双平台即集成电路材料与工艺行业数据平台和集成电路工艺虚拟仿真平台;开办集成电路器件物理与工程二级学科学术型学位点,实施学校-企业双导师负责制培养方式。